在深圳廠房裝修電子工業(yè)中廣泛采用各種化學(xué)物質(zhì)對晶園和設(shè)備進行酸洗和沖洗。SEMI國際機構(gòu)和其他機構(gòu)對潔凈度提出了要求。大部分企業(yè)都定制了本企業(yè)的工藝介質(zhì)潔凈度標準。

液體潔凈度水平應(yīng)該達到1ppb，即十億分之一。這就意味著十億物質(zhì)分子中一個雜質(zhì)分子。

工藝液體與去離子水不同，是由專業(yè)工廠制造并桶裝供應(yīng)，運輸隔離箱是用不溶解的物質(zhì)制成，不產(chǎn)生粒子。

微電路生產(chǎn)所應(yīng)用的液體，可分裝成小包裝或者用管道配送到使用點。

液體用管道及其將液體從一個容器分裝到另一個容器均是要求極為嚴格的操作。要求特別加以注意的是，其中包括防止交叉污染。

最近出現(xiàn)了直接與使用點相連接的工藝液體制備裝置，采用此項工藝后，可以取消運輸工序，不需要將液體從一個隔離箱轉(zhuǎn)至另一個隔離箱，以及不需要配送，由此可以是潔凈度水平達到萬億分之一。